ISO/TR 22335:2007
Химический анализ поверхности. Профилирование глубины напыления. Измерение скорости напыления: метод сетчатой реплики с применением механического матричного профилометра
Статус: Действует Дата введения в действие: 02.07.2007
Обозначение | ISO/TR 22335:2007 |
---|---|
Статус | Действует |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Профилирование глубины напыления. Измерение скорости напыления: метод сетчатой реплики с применением механического матричного профилометра |
Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Depth profiling -- Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer |
Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 4 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 1 |
Дата опубликования | 02.07.2007 |
Количество страниц оригинала | 26 |
Код цены | C |