ISO/TR 15969:2001
Химический анализ поверхности. Профилирование глубины напыления. Измерение глубины напыления
Статус: Заменен Дата введения в действие: 01.06.2001
Обозначение | ISO/TR 15969:2001 |
---|---|
Статус | Заменен |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Профилирование глубины напыления. Измерение глубины напыления |
Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis. Depth profiling. Measurement of sputtered depth |
Дата отмены | 17.03.2021 01:00:00 |
Наличие терминов РОСТЕРМ | 1 |
Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
Обозначение заменяющего | ISO/TR 15969:2021 |
ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 4 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 1 |
Дата опубликования | 01.06.2001 |
Количество страниц оригинала | 20 |
Код цены | B |