OEVE/OENORM EN 62047-3:2007
Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 3. Тонкопленочные стандартные образцы для испытаний на растяжение
Статус: Действует Дата введения в действие:
| Обозначение | OEVE/OENORM EN 62047-3:2007 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 3. Тонкопленочные стандартные образцы для испытаний на растяжение |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile-testing (IEC 62047-3:2006) |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | OEVE/OENORM EN 62047-3 (2005- 06-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 10 |
| Статус | Действует |