OEVE/OENORM EN 62047-2:2007
Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 2. Метод испытания на растяжение тонкопленочных материалов
Статус: Действует Дата введения в действие:
| Обозначение | OEVE/OENORM EN 62047-2:2007 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 2. Метод испытания на растяжение тонкопленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro- electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials (IEC 62047-2:2006) |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | OEVE/OENORM EN 62047-2 (2005- 06-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 16 |
| Статус | Действует |