DIN 50450-5-1994
Газы-носители и газы примесные, используемые при изготовлении полупроводников. Определение содержания воды в хлороводороде с помощью фосфорпентоксидной ячейки
Статус: Дата введения в действие: 01.01.1994
| Обозначение | DIN 50450-5-1994 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Газы-носители и газы примесные, используемые при изготовлении полупроводников. Определение содержания воды в хлороводороде с помощью фосфорпентоксидной ячейки |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and dopant gases; determination of water traces in gaseous hydrogen chloride by a diphosphorus pentoxide cell |
| Дата опубликования | 01.01.1994 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50450-5(1992-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 2 |
| Перекрестные ссылки | DIN 17440(1985-07)* VDI 3490 Blatt 3(1980-12)* |
| Код цены | Preisgruppe 5 |