DIN 50450-9-2003
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в газах-носителях и легирующих газах. Часть 9. Определение содержания кислорода, азота, моноксида углерода, диоксида углерода и углеводородов С1 - С3 в газообразном гидрохлориде с помощью газовой хроматографии
Статус: Дата введения в действие: 01.04.2003
| Обозначение | DIN 50450-9-2003 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в газах-носителях и легирующих газах. Часть 9. Определение содержания кислорода, азота, моноксида углерода, диоксида углерода и углеводородов С1 - С3 в газообразном гидрохлориде с помощью газовой хроматографии |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 9: Determination of oxygen, nitrogen, carbonmonoxide, carbondioxide, hydrogen and C<(Index)1>-C<(Index)3>-hydrocarbons in gaseous hydrogen chloride by gaschromatography |
| Дата опубликования | 01.04.2003 |
| МКС | 71.100.20 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50450-9(2002-06) |
| Обозначение заменяющего | DIN 50450-9(2021-07) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 5 |
| Код цены | Preisgruppe 5 |