DIN 50434-1986
Материалы для полупроводниковой технологии. Определение дефектов монокристаллов кремния при помощи техники травления на поверхности (111) и (100)
Статус: Дата введения в действие: 01.02.1986
| Обозначение | DIN 50434-1986 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Материалы для полупроводниковой технологии. Определение дефектов монокристаллов кремния при помощи техники травления на поверхности (111) и (100) |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology; detection of crystal defects in monocrystalline silicon using etching techniques on {111} and {100} surfaces |
| Дата опубликования | 01.02.1986 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50434(1976-01)*DIN 50434(1984-09) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 9 |
| Перекрестные ссылки | DIN 50433-1(1976-12)* DIN 50443(1980-06)(Draft)* ASTM F 47(1982)* |
| Код цены | Preisgruppe 8 |