DIN 50450-3-1991
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в газах-носителях и легирующих газах. Определение содержания метана в водороде, кислороде, азоте, аргоне и гелие при помощи пламенно-ионизационного детектора
Статус: Дата введения в действие: 01.03.1991
| Обозначение | DIN 50450-3-1991 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в газах-носителях и легирующих газах. Определение содержания метана в водороде, кислороде, азоте, аргоне и гелие при помощи пламенно-ионизационного детектора |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of methane impurity in H<(Index)2>, O<(Index)2>, N<(Index)2>, Ar and He by using a flame ionization detector (FID) |
| Дата опубликования | 01.03.1991 |
| МКС | 71.100.20 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50450-3(1989-12) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 2 |
| Перекрестные ссылки | VDI 3483 Blatt 1(1979-12)* VDI 3490 Blatt 3(1980-12)* |
| Код цены | Preisgruppe 5 |