DIN 50441-2-1998
Пластины полупроводниковые. Определение геометрических размеров. Часть 2. Определение закругления кромки
Статус: Дата введения в действие: 01.11.1998
| Обозначение | DIN 50441-2-1998 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Пластины полупроводниковые. Определение геометрических размеров. Часть 2. Определение закругления кромки |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 2: Testing of edge profile |
| Дата опубликования | 01.11.1998 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50441-2(1982-04)*DIN 50441-2(1996-03) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 5 |
| Перекрестные ссылки | DIN 50441-4(1997-11)(Draft)* |
| Код цены | Preisgruppe 7 |