DIN 50450-2-1991
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в газах-носителях и легирующих газах. Определение содержания кислорода в азоте, аргоне, гелие, неоне и водороде при помощи гальванического элемента
Статус: Дата введения в действие: 01.03.1991
| Обозначение | DIN 50450-2-1991 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в газах-носителях и легирующих газах. Определение содержания кислорода в азоте, аргоне, гелие, неоне и водороде при помощи гальванического элемента |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and doping gases; determination of oxygen impurity in N<(Index)2>, Ar, He, Ne and H<(Index)2> by using a galvanic cell |
| Дата опубликования | 01.03.1991 |
| МКС | 71.100.20 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50450-2(1989-12) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 2 |
| Перекрестные ссылки | VDI 3490 Blatt 3(1980-12)* |
| Код цены | Preisgruppe 5 |