DIN 50438-3-2000
Кремний для полупроводниковых приборов. Определение содержания загрязняющего бора и фосфора методом инфракрасной асборбции
Статус: Дата введения в действие: 01.12.2000
| Обозначение | DIN 50438-3-2000 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Кремний для полупроводниковых приборов. Определение содержания загрязняющего бора и фосфора методом инфракрасной асборбции |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for use in semiconductor technology - Determination of impurity content silicon by infrared absorption - Part 3: Boron and phosphorus |
| Дата опубликования | 01.12.2000 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50438-3(1984-02)*DIN 50438-3(1999-08) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 11 |
| Перекрестные ссылки | DIN 50438-1(1995-07)* |
| Код цены | Preisgruppe 8 |