DIN 50441-4-1999
Пластины полупроводниковые. Определение геометрических размеров. Часть 4. Определение диаметра, отклонений диаметра, диаметра, длины и высоты плоского среза
Статус: Дата введения в действие: 01.03.1999
| Обозначение | DIN 50441-4-1999 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Пластины полупроводниковые. Определение геометрических размеров. Часть 4. Определение диаметра, отклонений диаметра, диаметра, длины и высоты плоского среза |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 4: Slice diameter, diamter variation, flat diameter, flat length, flat depth |
| Дата опубликования | 01.03.1999 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50441-4(1987-07)*DIN 50441-4(1997-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 8 |
| Перекрестные ссылки | DIN 50441-1(1996-07)* |
| Код цены | Preisgruppe 7 |