DIN 50451-4-2007
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в жидкостях. Часть 4. Определение 34 элементов в сверхчистой воде масс-спектрометрическим анализом с индуктивно-связанной плазмой
Статус: Дата введения в действие: 01.02.2007
| Обозначение | DIN 50451-4-2007 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в жидкостях. Часть 4. Определение 34 элементов в сверхчистой воде масс-спектрометрическим анализом с индуктивно-связанной плазмой |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 4: Determination of 34 elements in ultra pure water by mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS) |
| Дата опубликования | 01.02.2007 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 13 |
| Перекрестные ссылки | DIN 32645(2006-09)(Draft)* DIN 38406-29(1999-05)* DIN 51401-1(2001-12)* DIN EN ISO 8655-2(2002-12)* DIN EN ISO 14644-1(1999-07)* DIN ISO 5725-2(2002-12)* DIN ISO 5725-4(2003-01)* |
| Код цены | Preisgruppe 9 |