DIN 50457-2-1999
Материалы для полупроводниковой технологии. Определение содержания компонентов в легированных газовых смесях с помощью мокрохимических методов. Часть 2. Фосфин в азотно-фосфиновых смесях
Статус: Дата введения в действие: 01.11.1999
| Обозначение | DIN 50457-2-1999 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Материалы для полупроводниковой технологии. Определение содержания компонентов в легированных газовых смесях с помощью мокрохимических методов. Часть 2. Фосфин в азотно-фосфиновых смесях |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the volume fraction of components in dopant gas mixtures by wet-chemical methods - Part 2: Phosphine in nitrogen phosphine mixtures |
| Дата опубликования | 01.11.1999 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50457-2(1998-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 3 |
| Код цены | Preisgruppe 5 |