DIN 50451-3-2003
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в жидкостях. Часть 3. Определение содержания алюминия (Al), кобальта (Co), меди (Cu), натрия (Na), никеля (Ni) и цинка (Zn) в азотной кислоте с помощью ICP-MS масс-спектрометра с индуцируемой плазмой
Статус: Дата введения в действие: 01.04.2003
| Обозначение | DIN 50451-3-2003 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в жидкостях. Часть 3. Определение содержания алюминия (Al), кобальта (Co), меди (Cu), натрия (Na), никеля (Ni) и цинка (Zn) в азотной кислоте с помощью ICP-MS масс-спектрометра с индуцируемой плазмой |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 3: Aluminium (Al), cobalt (Co), copper (Cu), sodium (Na), nickel (Ni) and zinc (Zn) in nitric acid by ICP-MS |
| Дата опубликования | 01.04.2003 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50451-3(1994-10)*DIN 50451-3(2002-01) |
| Обозначение заменяющего | DIN 50451-3(2014-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 8 |
| Перекрестные ссылки | DIN 8120-1(1981-07)* DIN 32645(1994-05)* DIN 38406-29(1999-05)* DIN 51009(2001-12)* DIN EN ISO 1042(1999-08)* DIN EN ISO 1043-1(2002-06)* DIN EN ISO 8655-2(2002-12)* DIN EN ISO 14644-1(1999-07)* DIN ISO 3696(1991-06)* ASTM D 5127(1999)* VDI 2083 Blatt 1(2001-11)(Draft)* |
| Код цены | Preisgruppe 6 |