DIN 50455-2-1999
Материалы для полупроводниковой технологии. Методы определения характеристик фоторезистов. Часть 2. Определение светочувствительности позитивных фоторезистов
Статус: Дата введения в действие: 01.11.1999
| Обозначение | DIN 50455-2-1999 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Материалы для полупроводниковой технологии. Методы определения характеристик фоторезистов. Часть 2. Определение светочувствительности позитивных фоторезистов |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Methods for the characterisation photoresists - Part 2: Determination of photosensitivity of positive photoresists |
| Дата опубликования | 01.11.1999 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50455-2(1998-07) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 4 |
| Перекрестные ссылки | DIN 5031-1(1982-03)* DIN 50455-1(1991-06)* VDI 2083 Blatt 3(1993-02)(Draft)* |
| Код цены | Preisgruppe 5 |