DIN 50451-2-2003
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в жидкостях. Часть 2. Определение содержания кальция (Ca), кобальта (Co), хрома (Cr), меди (Cu), железа (Fе), никеля (Ni) и цинка (Zn) в плавиковой кислоте методом эмиссионной спектроскопии с наведенной плазмой
Статус: Дата введения в действие: 01.04.2003
| Обозначение | DIN 50451-2-2003 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в жидкостях. Часть 2. Определение содержания кальция (Ca), кобальта (Co), хрома (Cr), меди (Cu), железа (Fе), никеля (Ni) и цинка (Zn) в плавиковой кислоте методом эмиссионной спектроскопии с наведенной плазмой |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 2: Calcium (Ca), cobalt (Co), chromium (Cr), copper (Cu), Iron (Fe), nickel (Ni) and zinc (Zn) in hydrofluoric acid with plasma-induced emission spectroscopy |
| Дата опубликования | 01.04.2003 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50451-2(1990-10)*DIN 50451-2(2002-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 8 |
| Перекрестные ссылки | DIN 8120-1(1981-07)* DIN 32645(1994-05)* DIN 38406-29(1999-05)* DIN 51008-2(2001-12)* DIN 51401-1(2001-12)* DIN 51401-1 Beiblatt 1(2000-04)* DIN EN ISO 1042(1999-08)* DIN EN ISO 1043-1(2002-06)* DIN EN ISO 8655-2(2002-12)* DIN EN ISO 14644-1(1999-07)* DIN ISO 3696(1991-06)* ASTM D 5127(1999)* VDI 2083 Blatt 1(2001-11)(Draft)* |
| Код цены | Preisgruppe 6 |