ГОСТ 26239.1-84
Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей
Статус: Действует Дата введения в действие: 01.01.1986
| Обозначение | ГОСТ 26239.1-84 |
|---|---|
| Полное обозначение | ГОСТ 26239.1-84 |
| Заглавие на русском языке | Кремний полупроводниковый, исходные продукты для его получения и кварц. Метод определения примесей |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor silicon, raw materials for its production and quartz. Method of impurities determination |
| Дата введения в действие | 01.01.1986 |
| ОКС | 29.045 |
| Код КГС | В59 |
| Код ОКСТУ | 1709 |
| Индекс рубрикатора ГРНТИ | 538135 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт устанавливает химико-атомно-эмиссионный метод определения примесей в интервалах значений массовых долей в полупроводниковом кремнии, двуокиси кремния, кварце, четуреххлористом кремнии и трихлорсилане |
| Ключевые слова | кремний полупроводниковый;двуокись кремния;кварц;кремний четыреххлористый;трихлорсилан;определение примесей методом химико-атомно-эмиссионным;аппаратура;материалы;реактивы |
| Вид стандарта | Стандарты на методы контроля |
| Вид требований | Документ имеет отметку * |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 123-78; ГОСТ 804-72; ГОСТ 849-70; ГОСТ 859-78; ГОСТ 1277-75; ГОСТ 1467-77; ГОСТ 3118-77; ГОСТ 3640-79; ГОСТ 3778-77; ГОСТ 4331-78; ГОСТ 4461-77; ГОСТ 4526-75; ГОСТ 4530-76; ГОСТ 5905-79; ГОСТ 6008-82; ГОСТ 6835-80; ГОСТ 6836-80; ГОСТ 10216-75; ГОСТ 10262-73; ГОСТ 10928-75; ГОСТ 11069-74; ГОСТ 11125-84; ГОСТ 13610-79; ГОСТ 13637.1-77; ГОСТ 14261-77; ГОСТ 16539-79; ГОСТ 17746-79; ГОСТ 18300-87; ГОСТ 22516-77; ГОСТ 23463-79; ГОСТ 26239.0-84; |
| Документ внесен организацией СНГ | Минцветмет СССР |
| Нормативные ссылки на: Прочие | ТУ 6-09-5382-88 |
| Управление Ростехрегулирования | 320 - Управление стандартизации и сертификации сырья и материалов |
| Разработчик МНД | Российская Федерация |
| Межгосударственный ТК | 104 - Полупроводниковая и редкометаллическая продукция |
| Дата последнего издания | 21.01.1985 |
| Количество страниц (оригинала) | 19 |
| Организация - Разработчик | Минцветмет СССР |
| Статус | Действует |
| Код цены | 3 |
| Ограничение срока действия снято | Протокол № 7-95 МГС от 01.03.95 (ИУС № 11-95) |
| Номер ТК за которым закреплен документ | 303 |
| Номер приказа о закреплении документа за ТК | 217 |
| Дата приказа о закреплении документа за ТК | 31.01.2023 |