ГОСТ 26239.8-84

Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

Статус: Действует   Дата введения в действие: 01.01.1986


Обозначение

ГОСТ 26239.8-84

Полное обозначение

ГОСТ 26239.8-84

Заглавие на русском языке

Кремний полупроводниковый и исходные продукты для его получения. Метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния

Заглавие на английском языке

Semiconductor silicon and raw materials for its production. Method of dichlorsilane, trichlorsilane and silicon tetrachloride determination

Дата введения в действие

01.01.1986

ОКС

29.045

Код КГС

В59

Код ОКСТУ

1709

Индекс рубрикатора ГРНТИ

538135

Аннотация (область применения)

Настоящий стандарт устанавливает метод определения дихлорсилана, трихлорсилана и тетрахлорида кремния в четыреххлористом кремнии ректификационно очищенном и в смесях четыреххлористого кремния с трихлорсиланом

Ключевые слова

кремний полупроводниковый;кремний четыреххлористый;очистка ректификационная;смесь;трихлорсилан;анализ хроматографический;аппаратура;материалы;реактивы

Вид стандарта

Стандарты на методы контроля

Вид требований

Документ имеет отметку *

Нормативные ссылки на: ГОСТ

ГОСТ 2603-79; ГОСТ 5072-79; ГОСТ 9293-74; ГОСТ 18300-87; ГОСТ 20015-74; ГОСТ 25336-82; ГОСТ 26239.0-84;

Документ внесен организацией СНГ

Минцветмет СССР

Управление Ростехрегулирования

320 - Управление стандартизации и сертификации сырья и материалов

Разработчик МНД

Российская Федерация

Межгосударственный ТК

104 - Полупроводниковая и редкометаллическая продукция

Дата последнего издания

21.01.1985

Количество страниц (оригинала)

9

Организация - Разработчик

Минцветмет СССР

Статус

Действует

Код цены

2

Ограничение срока действия снято

Протокол № 7-95 МГС от 01.03.95 (ИУС № 11-95)

Номер ТК за которым закреплен документ

303

Номер приказа о закреплении документа за ТК

217

Дата приказа о закреплении документа за ТК

31.01.2023