DIN 32566-2007
Оборудование для производства микросистем. Опорное кольцо шаблона для рентгеновской литографии. Технические условия
Статус: Дата введения в действие: 01.12.2007
| Обозначение | DIN 32566-2007 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Оборудование для производства микросистем. Опорное кольцо шаблона для рентгеновской литографии. Технические условия |
| Заглавие на английском языке | Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring |
| Дата опубликования | 01.12.2007 |
| МКС | 31.020*37.020 |
| Вид стандарта | ST |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 9 |
| Перекрестные ссылки | DIN EN ISO 1101(2006-02)* DIN EN ISO 8734(1998-03)* |
| Код цены | Preisgruppe 8 |