DIN 50438-3-1984
Кремний для полупроводниковых приборов. Определение содержания загрязняющего бора и фосфора методом инфракрасной абсорбции
Статус: Дата введения в действие: 01.02.1984
| Обозначение | DIN 50438-3-1984 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Кремний для полупроводниковых приборов. Определение содержания загрязняющего бора и фосфора методом инфракрасной абсорбции |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for use in semiconductor technology; determination of interstitial atomic boron and phosphorus content of silicon by infrared absorption spectroscopy |
| Дата опубликования | 01.02.1984 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST*N |
| Обозначение заменяющего | DIN 50438-3-2000 |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 4 |
| Количество страниц перевода | 12 |
| Перекрестные ссылки | DIN 50431* DIN 50438-1* DIN 50438-2* DIN 50444* |
| Код цены | Preisgruppe 5 |