DIN 50441-5-1998
Статус: Дата введения в действие: 01.05.1998
| Обозначение | DIN 50441-5-1998 |
|---|---|
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 5: Terms of shape and flatness deviation |
| Дата опубликования | 01.05.1998 |
| МКС | 01.040.29*29.045 |
| Вид стандарта | ST*N |
| Обозначение заменяющего | DIN 50441-5-2001 |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 10 |
| Перекрестные ссылки | ASTM F 534-91* ASTM F 657-92* ASTM F 1451-92* DIN 50441-1* DIN 50441-3* JEIDA 43-1987* SEMI M1-95* |
| Код цены | Preisgruppe 8 |