ISO 23812:2009
Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод калибровки глубины для кремния с помощью многослойных дельта-эталонных материалов
Статус: Действует Дата введения в действие: 08.04.2009
Обозначение | ISO 23812:2009 |
---|---|
Статус | Действует |
Вид стандарта | ST |
Заглавие на русском языке | Химический анализ поверхности. Масс-спектрометрия вторичных ионов. Метод калибровки глубины для кремния с помощью многослойных дельта-эталонных материалов |
Заглавие на английском языке | Surface chemical analysis -- Secondary-ion mass spectrometry -- Method for depth calibration for silicon using multiple delta-layer reference materials |
Код КС (ОКС, МКС) | 71.040.40 |
ТК – разработчик стандарта | TC 201/SC 6 |
Язык оригинала | английский |
Номер издания | 1 |
Дата опубликования | 08.04.2009 |
Количество страниц оригинала | 26 |
Код цены | D |