IEC 62047-6(2009)
Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 6. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов
Статус: Действует Дата введения в действие: 16.04.2009
Обозначение | IEC 62047-6(2009) |
---|---|
Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 6. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов |
Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials |
МКС | 31.080.99 |
Вид стандарта | ST |
Дата опубликования | 16.04.2009 |
Язык оригинала | английский;французский |
Количество страниц оригинала | 34 |
ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
Номер издания | 1.0 |
Статус | Действует |
Код цены | D |