IEC 60204-33(2009)
Электрооборудование промышленных машин. Безопасность. Часть 33. Требования к полупроводниковому производственному оборудованию
Статус: Действует Дата введения в действие: 10.12.2009
Обозначение | IEC 60204-33(2009) |
---|---|
Заглавие на русском языке | Электрооборудование промышленных машин. Безопасность. Часть 33. Требования к полупроводниковому производственному оборудованию |
Заглавие на английском языке | Safety of machinery - Electrical equipment of machines - Part 33: Requirements for semiconductor fabrication equipment |
МКС | 13.110, 25.040.30, 29.020 |
Вид стандарта | ST |
Дата опубликования | 10.12.2009 |
Язык оригинала | английский;французский |
Количество страниц оригинала | 252 |
ТК – разработчик стандарта | TC 44 |
Номер издания | 1.0 |
Статус | Действует |
Код цены | N |