DIN 50451-5-2010
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания микроэлементов в жидкостях. Часть 5. Руководство по выбору материалов для испытания их соответствия для аппаратуры отбора и приготовления проб для определения микроэлементов в диапазоне микрограмм на килогграмм и нанограмм на килограмм
Статус: Дата введения в действие: 01.03.2010
| Обозначение | DIN 50451-5-2010 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания микроэлементов в жидкостях. Часть 5. Руководство по выбору материалов для испытания их соответствия для аппаратуры отбора и приготовления проб для определения микроэлементов в диапазоне микрограмм на килогграмм и нанограмм на килограмм |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of trace elements in liquids - Part 5: Guideline for the selection of materials and testing of their suitability for apparatus for sampling and sample preparation for the determination of trace elements in the range of micrograms per kilogram and nanograms per kilogram |
| Дата опубликования | 01.03.2010 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 11 |
| Перекрестные ссылки | DIN 50451-3(2003-04)* DIN 50451-4(2007-02)* |
| Код цены | Preisgruppe 8 |