ГОСТ 8.594-2009
Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки
Статус: Действует Дата введения в действие: 01.11.2010
| Обозначение | ГОСТ 8.594-2009 |
|---|---|
| Полное обозначение | ГОСТ 8.594-2009 |
| Заглавие на русском языке | Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые. Методика поверки |
| Заглавие на английском языке | State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron microscopes. Method for verification |
| Дата введения в действие | 01.11.2010 |
| ОКС | 17.040.01 |
| Код КГС | Т88 |
| Аннотация (область применения) | Настоящий стандарт распространяется на растровые электронные микроскопы, применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 (в степени минус девять) до 10 (в степени минус шесть) м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с использованием рельефных мер по ГОСТ 8.591 и ГОСТ 8.592 |
| Ключевые слова | длина;рельефные меры нанометрового диапазона;растровые электронные микроскопы;методика поверки |
| Термины и определения | Раздел стандарта |
| Вид стандарта | Основополагающие стандарты |
| Дескрипторы (английский язык) | state system, ensuring, uniformity, measurements, scanning electron microscopes, verification |
| Нормативные ссылки на: ГОСТ | ГОСТ 8.591; ГОСТ 8.592; ГОСТ 12.2.0611; ГОСТ Р ИСО 14644-1-2017; |
| Документ внесен организацией СНГ | Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт) |
| Документ принят организацией СНГ | Межгосударственный Совет по стандартизации метрологии и сертификации |
| Номер протокола | 36-2009 |
| Дата принятия в МГС | 11.11.2009 |
| Присоединившиеся страны | Кыргызская Республика; Республика Армения; Республика Беларусь; Республика Казахстан; Республика Молдова; Республика Таджикистан; Республика Узбекистан; Российская Федерация; Украина |
| Управление Ростехрегулирования | 310 - Управление метрологии |
| Технический комитет России | 441 - Нанотехнологии |
| Дата последнего издания | 09.12.2019 |
| Номер(а) изменении(й) | переиздание |
| Количество страниц (оригинала) | 12 |
| Организация - Разработчик | Открытое акционерное общество «Научно-исследовательский центр по изучению свойств поверхности и вакуума» (Россия); Федеральное государственное учреждение «Российский научный центр «Курчатовский институт» (Россия); Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования «Московский физико-технический институт (государственный университет)» (Россия) |
| Статус | Действует |
| Код цены | 2 |