OEVE/OENORM EN 62047-6:2010
Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 6. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов
Статус: Действует Дата введения в действие:
| Обозначение | OEVE/OENORM EN 62047-6:2010 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 6. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials (IEC 62047-6:2009) (german version) |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | OEVE/OENORM EN 62047-6 (2008-01-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 18 |
| Статус | Действует |