OEVE/OENORM EN 62047-4:2011
Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 4. Общие технические условия на MEMS
Статус: Действует Дата введения в действие:
| Обозначение | OEVE/OENORM EN 62047-4:2011 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 4. Общие технические условия на MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 4: Generic specification for MEMS (IEC 62047-4:2008) |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | OEVE/OENORM EN 62047-4 (2007-07-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 23 |
| Статус | Действует |