DIN EN 62047-8-2011
Полупроводниковые приборы. Микро-электро-механические приборы. Часть 8. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов
Статус: Дата введения в действие: 01.12.2011
| Обозначение | DIN EN 62047-8-2011 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электро-механические приборы. Часть 8. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films (IEC 62047-8:2011); German version EN 62047-8:2011 |
| Дата опубликования | 01.12.2011 |
| МКС | 31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN IEC 62047-8(2008-05) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 20 |
| Перекрестные ссылки | IEC 62047-2(2006-08)* IEC 62047-3(2006-08)* |
| Код цены | Preisgruppe 14 |