DIN EN 62047-10-2012
Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 10. Испытание на сжатие микро - колонн для материалов MEMS
Статус: Дата введения в действие: 01.03.2012
| Обозначение | DIN EN 62047-10-2012 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 10. Испытание на сжатие микро - колонн для материалов MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials (IEC 62047-10:2011); German version EN 62047-10:2011 |
| Дата опубликования | 01.03.2012 |
| МКС | 31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN IEC 62047-10(2010-05) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 13 |
| Перекрестные ссылки | ASTM E 9(2009)* IEC 62047-8(2011-03)* |
| Код цены | Preisgruppe 12 |