OEVE/OENORM EN 62047-8:2012
Полупроводниковые приборы. Микро-электро-механические приборы. Часть 8. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов
Статус: Действует Дата введения в действие:
| Обозначение | OEVE/OENORM EN 62047-8:2012 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электро-механические приборы. Часть 8. Методы испытания на осевую усталость тонкопленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 8: Strip bending test method for tensile property measurement of thin films (IEC 62047-8:2011) (german version) |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | OEVE/OENORM EN 62047-8 (2009-10-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 20 |
| Статус | Действует |