DIN EN 62047-12-2012
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 12. Метод испытания на усталость при сгибании тонкопленочных материалов с использованием структур MEMS
Статус: Дата введения в действие: 01.06.2012
| Обозначение | DIN EN 62047-12-2012 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 12. Метод испытания на усталость при сгибании тонкопленочных материалов с использованием структур MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (IEC 62047-12:2011); German version EN 62047-12:2011 |
| Дата опубликования | 01.06.2012 |
| МКС | 31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN IEC 62047-12(2010-05) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 31 |
| Перекрестные ссылки | IEC 62047-2(2006-08)* IEC 62047-3(2006-08)* ISO 12107(2003-03)* |
| Код цены | Preisgruppe 17 |