OEVE/OENORM EN 62047-10:2012
Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 10. Испытание на сжатие микро - колонн для материалов MEMS
Статус: Действует Дата введения в действие:
| Обозначение | OEVE/OENORM EN 62047-10:2012 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микро-электромеханические приборы. Часть 10. Испытание на сжатие микро - колонн для материалов MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 10: Micro-pillar compression test for MEMS materials (IEC 62047-10:2011) (german version) |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | OEVE/OENORM EN 62047-10 (2010-10-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 13 |
| Статус | Действует |