DIN EN 62047-14-2012
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 14. Метод измерения предела формирования металлических пленочных материалов
Статус: Дата введения в действие: 01.10.2012
| Обозначение | DIN EN 62047-14-2012 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 14. Метод измерения предела формирования металлических пленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials (IEC 62047-14:2012); German version EN 62047-14:2012 |
| Дата опубликования | 01.10.2012 |
| МКС | 31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN EN 62047-14(2010-10) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 20 |
| Перекрестные ссылки | IEC 62047-1(2005-09)* |
| Код цены | Preisgruppe 14 |