OEVE/OENORM EN 62047-12:2012
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 12. Метод испытания на усталость при сгибании тонкопленочных материалов с использованием структур MEMS
Статус: Действует Дата введения в действие:
| Обозначение | OEVE/OENORM EN 62047-12:2012 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 12. Метод испытания на усталость при сгибании тонкопленочных материалов с использованием структур MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures (IEC 62047-12:2011) (german version) |
| МКС | 31.080.99 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | OEVE/OENORM EN 62047-12 (2010-10-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 31 |
| Статус | Действует |