DIN EN ISO 14644-9-2012
Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8: Классификация воздушных молекулярных примесей
Статус: Дата введения в действие: 01.12.2012
| Обозначение | DIN EN ISO 14644-9-2012 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Часть 8: Классификация воздушных молекулярных примесей |
| Заглавие на английском языке | Cleanrooms and associated controlled environments - Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration (ISO 14644-9:2012); German version EN ISO 14644-9:2012 |
| Дата опубликования | 01.12.2012 |
| МКС | 13.040.35 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN EN ISO 14644-9(2008-08) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 32 |
| Перекрестные ссылки | DIN EN 61340-5-1(2008-07)* DIN EN ISO 4287(2010-07)* DIN EN ISO 4288(1998-04)* DIN EN ISO 14644-6(2007-10)* DIN ISO 5725-2(2002-12)* DIN ISO 5725-5(2002-11)* DIN ISO 10576-1(2009-10)* ASTM E 18(2007)* ASTM E 1216(2006)* ASTM F 24(2009)* ASTM F 303(2008)* ASTM F 312(2008)* CLC/TR 61340-5-2(2008-04)* IEC 61340-5-1(2007-08)* ISO 4287(1997-04)* ISO 4288(1996-08)* ISO 5725-2(1994-12)* ISO 10015(1999-12)* ISO 10576-1(2003-03)* ISO 14644-6(2007-07)* ISO 16232-2(2007-06)* ISO 16232-3(2007-06)* ISO 16232-4(2007-06)* ISO 16232-5(2007-06)* ISO/TS 21748(2004-03)* IEST-RP-CC022.2-2004* IEST-STD-CC1246D* SEMI E43-0301* SEMI E78-0706* |
| Код цены | Preisgruppe 14 |