OEVE/OENORM EN 62047-14:2012
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 14. Метод измерения предела формирования металлических пленочных материалов
Статус: Действует Дата введения в действие:
| Обозначение | OEVE/OENORM EN 62047-14:2012 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 14. Метод измерения предела формирования металлических пленочных материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 14: Forming limit measuring method of metallic film materials (IEC 62047-14:2012) (german version) |
| МКС | 31.080.01;31.080.99;31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | OEVE/OENORM EN 62047-14 (2011-01-15) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 20 |
| Статус | Действует |