OEVE/OENORM EN 62047-13:2012
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 13. Методы измерения прочности сцепления при испытании на изгиб и сдвиг микроэлектромеханических структур MEMS
Статус: Действует Дата введения в действие:
| Обозначение | OEVE/OENORM EN 62047-13:2012 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 13. Методы измерения прочности сцепления при испытании на изгиб и сдвиг микроэлектромеханических структур MEMS |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 13: Bend- and shear- type test methods of measuring adhesive strength for MEMS structures (IEC 62047-13:2012) (german version) |
| МКС | 31.080.01;31.080.99;31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | OEVE/OENORM EN 62047-13 (2011-03-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 17 |
| Статус | Действует |