IEC 62047-11(2013)
Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 11. Метод испытания на коэффициенты линейного теплового расширения автономного материала для микроэлектромеханических систем
Статус: Действует Дата введения в действие: 17.07.2013
Обозначение | IEC 62047-11(2013) |
---|---|
Заглавие на русском языке | Полупроводниковые приборы. Микроэлектромеханические приборы. Часть 11. Метод испытания на коэффициенты линейного теплового расширения автономного материала для микроэлектромеханических систем |
Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 11: Test method for coefficients of linear thermal expansion of free-standing materials for micro-electromechanical systems |
МКС | 31.080.99 |
Вид стандарта | ST |
Дата опубликования | 17.07.2013 |
Язык оригинала | английский;французский |
Количество страниц оригинала | 42 |
ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
Номер издания | 1.0 |
Статус | Действует |
Код цены | E |