DIN 51456-2013
Испытания материалов для полупроводниковой технологии. Анализ поверхности кремниевых пластин посредством мультиэлементного определения в водных анализируемых растворах методом масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой
Статус: Дата введения в действие: 01.10.2013
| Обозначение | DIN 51456-2013 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытания материалов для полупроводниковой технологии. Анализ поверхности кремниевых пластин посредством мультиэлементного определения в водных анализируемых растворах методом масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Surface analysis of silicon wafers by multielement determination in aqueous analysis solutions using mass spectrometry with inductively coupled plasma (ICP-MS) |
| Дата опубликования | 01.10.2013 |
| МКС | 31.200 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 51456(2012-10) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 15 |
| Перекрестные ссылки | DIN 32645(2008-11)* DIN 50451-5(2010-03)* DIN 51002-1(2004-11)* DIN 51401(2010-07)* DIN ISO 5725-2(2002-12)* |
| Код цены | Preisgruppe 10 |