IEC 62047-21(2014)
Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных MEMS материалов
Статус: Действует Дата введения в действие: 19.06.2014
Обозначение | IEC 62047-21(2014) |
---|---|
Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных MEMS материалов |
Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials |
МКС | 31.080.99 |
Вид стандарта | ST |
Дата опубликования | 19.06.2014 |
Язык оригинала | английский;французский |
Количество страниц оригинала | 30 |
ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
Номер издания | 1.0 |
Статус | Действует |
Код цены | D |