IEC 62047-17(2015)
Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 17. Метод испытания на вспучивание для измерения механических свойств тонких пленок
Статус: Действует Дата введения в действие: 05.03.2015
Обозначение | IEC 62047-17(2015) |
---|---|
Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 17. Метод испытания на вспучивание для измерения механических свойств тонких пленок |
Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films |
МКС | 31.080.99 |
Вид стандарта | ST |
Дата опубликования | 05.03.2015 |
Язык оригинала | английский;французский |
Количество страниц оригинала | 58 |
ТК – разработчик стандарта | SC 47F |
Номер издания | 1.0 |
Статус | Действует |
Код цены | G |