DIN EN 62047-21-2015
Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных MEMS материалов
Статус: Дата введения в действие: 01.04.2015
| Обозначение | DIN EN 62047-21-2015 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 21. Метод определения коэффициента Пуассона тонкопленочных MEMS материалов |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 21: Test method for Poisson's ratio of thin film MEMS materials (IEC 62047-21:2014); German version EN 62047-21:2014 |
| Дата опубликования | 01.04.2015 |
| МКС | 31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN EN 62047-21(2012-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 16 |
| Перекрестные ссылки | ASTM E 132(2004)* IEC 62047-8(2011-03)* |
| Код цены | Preisgruppe 13 |