DIN EN 62047-17-2015
Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 17. Методы определения остаточных напряжений в пленках MEMS. Метод испытания на вспучивание для измерения механических свойств тонких пленок
Статус: Дата введения в действие: 01.12.2015
| Обозначение | DIN EN 62047-17-2015 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 17. Методы определения остаточных напряжений в пленках MEMS. Метод испытания на вспучивание для измерения механических свойств тонких пленок |
| Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 17: Bulge test method for measuring mechanical properties of thin films (IEC 62047-17:2015); German version EN 62047-17:2015 |
| Дата опубликования | 01.12.2015 |
| МКС | 31.080.01*31.220.01 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN EN 62047-17(2011-06) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 28 |
| Перекрестные ссылки | IEC 62047-2(2006-08)* |
| Код цены | Preisgruppe 16 |