IEC 62047-26(2016)
Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 26. Методы описания и измерения микрощелевых и игольчатых структур
Статус: Действует Дата введения в действие: 07.01.2016
Обозначение | IEC 62047-26(2016) |
---|---|
Заглавие на русском языке | Приборы полупроводниковые. Микроэлектромеханические приборы. Часть 26. Методы описания и измерения микрощелевых и игольчатых структур |
Заглавие на английском языке | Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 26: Description and measurement methods for micro trench and needle structures |
МКС | 31.080.99 |
Вид стандарта | ST |
Дата опубликования | 07.01.2016 |
Язык оригинала | английский;французский |
Количество страниц оригинала | 62 |
ТК – разработчик стандарта | TC 47/SC 47F |
Номер издания | 1.0 |
Статус | Действует |
Код цены | G |