DIN 50450-4-1993
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в газах-носителях и легирующих газах. Определение содержания углеводородов С1-С3 в азоте с помощью газовой хроматографии
Статус: Дата введения в действие: 01.09.1993
| Обозначение | DIN 50450-4-1993 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания примесей в газах-носителях и легирующих газах. Определение содержания углеводородов С1-С3 в азоте с помощью газовой хроматографии |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology; determination of impurities in carrier gases and dopant gases; determination of C<(Index)1>-C<(Index)3>-hydrocarbons in nitrogen by gas-chromatography |
| Дата опубликования | 01.09.1993 |
| МКС | 71.100.20 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50450-4(1992-01) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 2 |
| Код цены | Preisgruppe 5 |