DIN 50450-7-1995
Газы-носители и газы примесные, используемые при изготовлении полупроводников. Определение содержания СО и Н2 в азоте с помощью газовой хроматографии
Статус: Дата введения в действие: 01.04.1995
| Обозначение | DIN 50450-7-1995 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Газы-носители и газы примесные, используемые при изготовлении полупроводников. Определение содержания СО и Н2 в азоте с помощью газовой хроматографии |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of impurities in carrier gases and dopant gases - Part 7: Determination of CO and H<(Index)2> in nitrogen by gaschromatography and reduction gasdetector |
| Дата опубликования | 01.04.1995 |
| МКС | 71.100.20 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50450-7(1993-12) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 2 |
| Код цены | Preisgruppe 5 |