DIN 50441-1-1996
Пластины полупроводниковые. Определение геометрических размеров. Часть 1. Толщина и ее изменение
Статус: Дата введения в действие: 01.07.1996
| Обозначение | DIN 50441-1-1996 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Пластины полупроводниковые. Определение геометрических размеров. Часть 1. Толщина и ее изменение |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of the geometric dimensions of semiconductor wafers - Part 1: Thickness and thickness variation |
| Дата опубликования | 01.07.1996 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50441-1(1981-02)*DIN 50441-1(1994-12) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 4 |
| Перекрестные ссылки | DIN 879-1(1983-10)* DIN 4760(1982-06)* DIN 4768(1990-05)* DIN 50441-5(1991-06)(Draft)* VDI 2083 Blatt 1(1995-04)* |
| Код цены | Preisgruppe 5 |