DIN 50451-3-2014
Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания микроэлементов в жидкостях. Часть 3. Определение 31 элемента в сверхчистой азотной кислоте методом масс-спектрометрического анализа с индуктивно-связанной плазмой
Статус: Дата введения в действие: 01.11.2014
| Обозначение | DIN 50451-3-2014 |
|---|---|
| Заглавие на русском языке | Испытание материалов, применяемых в технологии изготовления полупроводников. Определение содержания микроэлементов в жидкостях. Часть 3. Определение 31 элемента в сверхчистой азотной кислоте методом масс-спектрометрического анализа с индуктивно-связанной плазмой |
| Заглавие на английском языке | Testing of materials for semiconductor technology - Determination of traces of elements in liquids - Part 3: Determination of 31 elements in high-purity nitric acid by ICP-MS |
| Дата опубликования | 01.11.2014 |
| МКС | 29.045 |
| Вид стандарта | ST |
| Обозначение заменяемого(ых) | DIN 50451-3(2003-04)*DIN 50451-3(2012-11) |
| Язык оригинала | немецкий |
| Количество страниц оригинала | 19 |
| Перекрестные ссылки | DIN 32645(2008-11)* DIN 50451-5(2010-03)* DIN 51009(2013-11)* DIN EN ISO 1042(1999-08)* DIN EN ISO 1043-1(2012-03)* DIN EN ISO 8655-2(2002-12)* DIN EN ISO 14644-1(1999-07)* DIN EN ISO 17294-2(2005-02)* DIN ISO 3696(1991-06)* DIN ISO 5725-2(2002-12)* DIN ISO 5725-4(2003-01)* ASTM D 5127(2013)* VDI 2083 Blatt 1(2013-01)* |
| Код цены | Preisgruppe 11 |